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3, 合金靶: 锌铝靶, 铝铜靶, 铝镁靶, 铝硅靶, 铝银靶, 钴铁合金靶, 钴铁硼靶, 铜钴靶, 铜镍靶, 铜锆靶, 铁硼靶, 铁碳靶, 铁锰靶, 铱锰靶, 铱铼靶, 铟锡靶, 镍铝靶, 镍铬靶, 镍铬硅靶, 镍铁靶, 镍钛靶, 镍钒靶, 钐钴靶, 银铜靶, 银锡靶, 钽铝靶, 铽铁靶, 钛铝靶, 钛镍靶, 钛铬靶, 钨铼靶, 钨钛靶, 锆铝靶, 锆钛靶, 锆钇靶, 锌镁靶, 铜铟镓硒靶, 铜铟靶, 铜铟镓靶, 锑铟靶, 锗碲靶, 锗锑碲靶.

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